精密光学元件先进测量与评价.pdf

精密光学元件先进测量与评价.pdf
 

书籍描述

内容简介
本书主要针对精密光学元件检测原理与技术进行了全面、详细的介绍,并且追踪了最新的科技前沿技术的原理与应用,紧扣实际应用需求,对检测过程中的关键技术进行了研究。首先对光学元件的质量评价标准做了详细的介绍,包括表面面形误差评价标准、亚表面损伤的评价以及光学元件均匀性的评价。之后,对干涉检测原理与国际上前沿技术进行了介绍,特别是相移干涉技术、动态干涉技术等。对补偿法检测非球面,主要介绍了光学补偿器和计算全息补偿器,对其设计原理、制作工艺、装调技术进行了详细的介绍与分析。其后,对子孔径拼接技术的原理进行了介绍,对关键的拼接算法进行了详细的研究,搭建了测量平台,并在实际工程中获得了很好的应用。轮廓测量与结构光测量技术也是本书的重点之一,其在粗糙表面面形测量中有着十分重要的作用。最后,对亚表面的损失测量做了介绍与研究。全书共分为八章。第一章对光学元件检测做了概述,并提出了光学元件质量的各种评价指标。

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《精密光学元件先进测量与评价》主要针对精密光学元件检测原理与技术进行了全面、详细的介绍,并且追踪了最新的科技前沿技术的原理与应用,紧扣实际应用需求,对检测过程中的关键技术进行了研究。首先对光学元件的质量评价标准做了详细的介绍,包括表面面形误差评价标准、亚表面损伤的评价以及光学元件均匀性的评价。之后,对干涉检测原理与国际上前沿技术进行了介绍,特别是相移干涉技术、动态干涉技术等。对补偿法检测非球面,主要介绍了光学补偿器和计算全息补偿器,对其设计原理、制作工艺、装调技术进行了详细的介绍与分析。其后,对子孔径拼接技术的原理进行了介绍,对关键的拼接算法进行了详细的研究,搭建了测量平台,并在实际工程中获得了很好的应用。轮廓测量与结构光测量技术也是《精密光学元件先进测量与评价》的重点之一,其在粗糙表面面形测量中有着十分重要的作用。最后,对亚表面的损失测量做了介绍与研究。全书共分为八章。第一章对光学元件检测做了概述,并提出了光学元件质量的各种评价指标。

目录
前言
第1章绪论
1.1概述
1.2光学元件质量评价
1.2.1表面质量评价
1.2.2亚表面质量评价
1.3干涉测量基础知识
1.3.1干涉原理
1.3.2典型干涉测量结构
第2章子子L径拼接轮廓测量
2.1概述
2.2圆形子孔径拼接
2.2.1拼接原理
2.2.2拼接算法
2.3环形子孔径拼接
2.3.1孔径划分
2.3.2拼接原理
2.3.3拼接算法
2.4广义子孔径拼接
2.4.1广义环形子孔径拼接算法
2.4.2计算机模拟
2.5子孔径拼接优化算法
2.5.1调整误差分量及其波像差
2.5.2环形子孔径拼接优化模型
2.5.3仿真研究
2.6测量系统
2.6.1SSI—300子孔径检测平台
2.6.2实验研究
2.7超大口径拼接检测
2.7.1方案设计
2.7.2拼接算法
2.8小结
参考文献
第3章接触式轮廓测量
3.1概述
3.2测量理论基础
3.2.1测量原理
3.2.2坐标系和坐标变换
3.2.3检测路径
3.2.4二次曲面系数研究
3.2.5离轴镜测量模型
3.3测量系统
3.3.1测头系统
3.3.2系统设计
3.4误差分析
3.4.1误差源分类
3.4.2固有误差
3.4.3随机调整误差
3.4.4接触力诱导误差
3.4.5高阶像差误差分析
3.5小结
参考文献
第4章结构光轮廓测量
4.1概述
4.2基于结构光原理的测量方法
4.2.1傅里叶变换轮廓术
4.2.2相位测量轮廓术
4.2.3莫尔测量轮廓术
4.2.4卷积解调法
4.2.5调制度测量轮廓术
4.3测量系统及其标定
4.3.1结构光三维测量系统
4.3.2系统参数标定
4.3.3快速标定方法
4.4位相展开算法
4.4.1位相展开的基本原理
4.4.2空间位相展开方法
4.4.3时间位相展开方法
4.4.4光栅图像采集与预处理
4.5测量误差分析
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析
4.5.2非线性误差矫正方法
4.6小结
参考文献
第5章亚表面损伤检测
5.1概述
5.2亚表面损伤产生机理与表征
5.2.1产生机理
5.2.2表征方法
5.3亚表面损伤检测技术
5.3.1破坏性检测
5.3.2非破坏性检测
5.4工艺试验
5.4.1亚表面损伤的测量
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联
5.4.3损伤抑制策略
5.5小结
参考文献
第6章其他测量技术
6.1移相干涉测量技术
6.2动态干涉测量技术
6.3剪切干涉
6.4点衍射干涉
6.5白光干涉测量技术
6.6外差干涉测量技术
6.7补偿法检测非球面
6.8计算全息法检测非球面
参考文献

文摘
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