微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用.pdf

微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用.pdf
 

书籍描述

内容简介
本书共分十二章,第1-8章分类介绍了几种主要的微纳加工技术,包括:光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工,即简要概述了各种加工方法的科学基础,又从实用出发,介绍了各种技术的主要工艺过程,特别涉及各种技术根据需要最新发展的一些创新方法;第9-12章按几个不同的领域,介绍了微纳加工技术在纳米材料与器件研究中的一些应用实例,包括电学、光学、磁学、生物等其它领域。这些成果深刻影响了当前纳米科学与技术的发展,希望能对从事相关领域研究的读者有所启发和借鉴。

购买书籍

当当网购书 京东购书 卓越购书

PDF电子书下载地址

相关书籍

搜索更多